概述：

KDY1型四探针电阻率方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、O导电薄膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。

本仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关,在测量某些薄层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护箔膜。仪器配置了本公司的专利产品:“小游移四探针头”,探针游移率在0.1-0.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机可加配KDY测量系统,测量硅片时可自动进行厚度、直径探针间距的修正,并计算出硅片电阻率、径向电阻率的最大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均匀度,给测量带来很大方便。

主机技术参数：

1、测量范围:

可测电阻率:0.0001~19000Ω.cm

可测方块电阻:0.001~1900002Ω/¨

型四探针电阻率方阻测

2、恒流源

输出电流:DC  0.001~100mA五档连续可调

量程:0.001~001mA  0.01~0.10mA

0.10~1.0mA 1.0~10mA 10~100mA

恒流精度:各档均低于:0.05%/

3、直流数字电压表

测量范围:0~199.99mV

灵敏度:10UV

基本误差:±(0004%读数+0.01%满度)

输入阻抗:≥1000MΩ

4、测量精度:电器精度1-1000欧姆0.3%

整机测量精度:1-1000欧姆.厘米≤3%

5、供电电源

AC 220V±10% 50/60 Hz功率:12W

6、使用环境:温度:23±2℃相对湿度:≤65%

无较强的电场干扰,电源隔离滤波,无强光直接照射

7、重量、体积

主机重量:7.5kg

体积:365×380×160(单位:mm长度x宽度x高度)

主要检测内容：测量固体电阻率，范围0.0001~19000Ω.cm

 送样标准：直径：SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限

检测费用： RMB 30元/件